我国自主研制成功新型硅单晶炉

• 作者: 张忠模
• 来源期刊: 功能材料信息
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 硅单晶 北京有色金属研究总院 自主研制 西安理工大学 自主知识产权 150型 生长设备
• 年，卷（期）: gnclxx_2007,（4）
• 页码范围: 60
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.12

摘要

据有关媒体报道，由西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的国家“863”计划项目“TDR-150型单晶炉（12英寸MCZ综合系统）”日前在北京通过了验收，这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用硅单晶生长设备在我国研制成功。验收专家组一致认为，TDR-150型单晶炉性能稳定可靠，运行平稳，填补了国内12英寸无位错硅单晶生长设备的空白。