单晶炉坩埚旋转速度控制系统设计

• 作者: 唐守勤 苏全振 郭婺 闫钿
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 神经网络 PID 单晶炉 80C196KB
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 工控技术
• 页码范围: 192-194
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2007.05.067

摘要

在单晶硅生产过程中,对单晶硅坩埚旋转速度有十分严格的要求.针对实际情况,本文采用神经网络自适应PID控制算法,通过80C196KB单片机实现对单晶炉的坩埚旋转速度精确平稳的控制.通过与模糊PID及传统PID算法比较表明,该方法在坩埚旋转过程中控制效果及抗干扰能力优于另两种控制方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫钿		20	79	5.0	8.0
2	郭婺		4	15	3.0	3.0
3	苏全振		4	11	2.0	3.0
4	唐守勤		3	9	1.0	3.0