聚焦离子束研制半导体材料光子晶体

• 作者: 张道中 熊志刚 许兴胜 金爱子 陈弘达
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚焦离子束 半导体材料 光子晶体
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 916-921
• 页数: 6页
• 分类号: TN3
• 字数: 3169字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.02.049

摘要

介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体,给出了相关微加工结果,发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合;测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱.实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈弘达	中国科学院半导体研究所光电子集成国家重点实验室	82	341	10.0	13.0
2	张道中	中国科学院物理研究所	36	426	11.0	19.0
3	金爱子	中国科学院物理研究所	6	27	2.0	5.0
4	许兴胜	中国科学院半导体研究所光电子集成国家重点实验室	22	122	6.0	10.0
5	熊志刚	中国科学院物理研究所	1	11	1.0	1.0