EFAB加工技术及其在微机电系统中的应用

• 作者: 石庚辰 隋丽
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: EFAB SFF 微机电系统 电沉积 实时掩模
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电(MEMS)技术应用
• 页码范围: 257-259,209
• 页数: 4页
• 分类号: TQ153.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.02.104

摘要

EFAB是一种新型的微机械加工技术,它旨在快速、批量、自动化加工复杂的三维高深宽比微金属结构,该技术是在实体自由成型制作技术上发展而来的.本文主要介绍EFAB加工技术的工艺流程、发展和主要特点,列举EFAB技术在微器件制作中的应用情况,并将该技术与其他微机械加工工艺进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石庚辰	北京理工大学机电工程学院	54	627	15.0	23.0
2	隋丽	北京理工大学机电工程学院	10	53	4.0	7.0