表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

• 作者: 姚素英 尤学一 肖夏
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超大规模集成电路 声表面波 传输方向 频散特性
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 2428-2433
• 页数: 6页
• 分类号: TN4
• 字数: 4687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.04.095

摘要

利用声表面波(SAW)的频散特性来表征超大规模集成电路(ULSI)互连系统中低介电常数(k)薄膜的物性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.研究了Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中,SAW沿任意方向传播的色散关系.引入坐标变换后,单层薄膜特征矩阵从9阶降到6阶,双层薄膜特征矩阵从15阶降到10阶,大幅度提高了计算速度,有利于生产ULSI过程中的在线监测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚素英	天津大学电子信息工程学院	160	911	14.0	21.0
2	尤学一	天津大学环境科学与工程学院	51	374	8.0	17.0
3	肖夏	天津大学电子信息工程学院	26	91	6.0	7.0