γ-LiAlO2上非极性ZnO薄膜制备及其光谱性质研究

• 作者: 周健华 周圣明 张荣 李抒智 林辉 王军 邹军 黄涛华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: 非极性ZnO γ-LiAlO2 PLD 透射谱
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 4044-4048
• 页数: 5页
• 分类号: O6
• 字数: 3411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.07.066

摘要

利用激光脉冲沉积(PLD)技术在(302)γ-LiAlO2衬底上成功生长了非极性的α面(11(2)0)ZnO薄膜.衬底温度为350℃时,薄膜是混合取向(α向和c向),以c面ZnO为主,且晶粒尺寸分布很宽;提高温度达500℃,薄膜变为单一的(11(2)0)取向,摇摆曲线半高宽0.65°,晶粒尺寸分布趋窄,利用偏振透射谱可以明显看出其面内的各向异性.衬底温度650℃下制备的样品晶粒继续长大,虽然摇摆曲线半高宽变大,但光致发光谱(PL)带边发射峰半高宽仅为105meV,比在350℃,500℃下制备的样品小1/5.