微波化学气相沉积中气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响

• 作者: 余荣 吴敢 曹生珠 李晓红 杨建平 王瑞 郭晚土 陈学康
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 生长速率 沉积气压
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 7183-7187
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2321字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.12.062

摘要

研究了微波化学气相沉积中沉积气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响.研究表明,金刚石薄膜的生长速率随沉积气压的提高而增大,生长速率与沉积气压为线性关系.在高沉积气压下生长的金刚石薄膜晶形完整,拉曼谱测量可得到锐利的金刚石相的峰,但电压-电流测量表明,随着制备时沉积气压的提高,金刚石薄膜的暗电流增大,膜的电学质量下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈学康		24	197	7.0	13.0
2	曹生珠		11	36	4.0	5.0
3	王瑞		6	16	2.0	3.0
4	杨建平		8	89	4.0	8.0
5	吴敢		7	35	4.0	5.0
6	余荣		4	9	2.0	3.0
7	李晓红	西南科技大学理学院	15	101	6.0	10.0
11	郭晚土		2	11	2.0	2.0