等离子体中频电源的驱动与保护电路设计

• 作者: 孙南海 孙奉娄 陈首部
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 等离子体电源 中频 驱动电路 保护电路
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 数控技术
• 页码范围: 78-80
• 页数: 3页
• 分类号: TN78
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2007.01.028

摘要

讨论了150 kHz等离子体中频电源的驱动与保护电路设计方案.该电路采用脉冲变压器耦合MOSFET管驱动电路,具有输出变压器原边平均电流和副边峰值电流的过流保护功能.结果表明:驱动波形的上升和下降时间都不超过80 ns,并能在检测到过流信号时封锁驱动信号,关断变换器中的开关器件,切断过流故障,有效进行电路保护.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙奉娄	中南民族大学等离子体研究所	76	434	13.0	15.0
2	陈首部	中南民族大学等离子体研究所	30	137	7.0	10.0
3	孙南海	中南民族大学等离子体研究所	5	47	3.0	5.0