在晶圆噪声系数测试中的去嵌入方法

• 作者: 孙玲 王志功 高建军
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 噪声系数 去嵌入 在晶圆测试
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 数采与监测
• 页码范围: 68-69,240
• 页数: 3页
• 分类号: TP216
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.04.029

摘要

针对在晶圆噪声系数测试系统存在的问题,提出了基于级联网络噪声系数关系的去嵌入方法.采用该方法有效地去除了测试结构的噪声特性对被测器件噪声系数的影响,提高了测量精度和可重复性.同时,这种方法也适用于其他需要去除测试结构影响的噪声系数测量系统.