介观压阻效应在硅微加速度计中的应用

• 作者: 吴瑞 温廷敦 王辉
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 介观压阻效应 加速度计 灵敏度 共振隧穿
• 年，卷（期）: 2007,（29）
• 所属期刊栏目: 微机电(MEMS)技术应用
• 页码范围: 182-184
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.29.075

摘要

为了突破传统机电转换局限,提高加速度计灵敏度,提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计,基于这种原理设计一种四梁岛结构,通过理论分析与仿真计算,得出该结构在1gn输入下的输出,并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较,从理论上验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性,为此类加速度计的设计提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温廷敦	中北大学微米纳米技术研究中心	65	169	7.0	10.0
2	吴瑞	中北大学微米纳米技术研究中心	7	39	3.0	6.0
3	王辉	中北大学微米纳米技术研究中心	6	21	3.0	4.0