高灵敏度室温锑化铟红外探测器研制

• 作者: 付安英 薛三旺 马睿
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 室温 锑化铟 探测器 高灵敏度
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 集成电路
• 页码范围: 182-183,191
• 页数: 3页
• 分类号: TN36
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2007.02.062

摘要

通过对室温工作的光导型锑化铟红外探测器的设计与工艺研究,在理论分析和工艺实验的基础上,优选制造灵敏元的材料,精心设计探测器的光学系统,改进制造工艺,实现对灵敏元精密腐蚀的有效控制等.研制成功的电压响应率达103 V/W,黑体探测率达1010 cm·Hz1/2·W-1左右,光谱响应范围2～8 μm,响应时间≤2×10-8 s的高性能、高稳定、高可靠器件.