叉指微加速度计的设计与闭环检测研究

• 作者: 吴学忠 张洪震 肖定邦
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: '叉指式'微加速度计 有限元分析 闭环检测
• 年，卷（期）: 2007,（14）
• 所属期刊栏目: 微机电(MEMS)技术应用
• 页码范围: 214-216,247
• 页数: 4页
• 分类号: TH824
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.14.089

摘要

设计了一种"叉指式"微机械加速度计和相应的闭环检测电路,介绍了此微加速度计的加工工艺,并使用Ansys软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合.最后对该闭环微加速度计进行了测试,得到的测量线性度为2.5%,刻度因子为3V/g.