基于扩展混合Petri网的晶圆制造系统建模

• 作者: 周炳海 潘青枝 陶丽华
• 来源期刊: 计算机工程
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 Petri网 面向对象模型 混合系统 建模
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 工程应用技术与实现
• 页码范围: 237-239,254
• 页数: 4页
• 分类号: TP391
• 字数: 4319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3428.2007.10.085

摘要

提出了一种扩展的面向对象混合Petri网(EOHPN)的建模方法:针对晶圆制造系统的复杂性,在EOHPN模型中融入了面向对象的抽象机制;为了减少系统建模的复杂性,引入混合Petri网并用面向对象建模技术作了扩展.在定义EOHPN模型的基础上,作了对象模型的拓展.用实例描述了基于EOHPN的晶圆制造系统的建模过程,验证了模型在处理系统建模时的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳海	上海交通大学机械与动力工程学院	79	803	17.0	25.0
2	陶丽华		4	17	3.0	4.0
3	潘青枝	上海交通大学机械与动力工程学院	4	17	2.0	4.0