基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值

• 作者: 何长涛 姚德武 姚远程 肖琦 袁胜 赵汝进 马孜
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 薄膜 自适应卡尔曼滤波 光学膜厚监控
• 年，卷（期）: 2007,（26）
• 所属期刊栏目: DSP开发与应用
• 页码范围: 190-192
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.26.074

摘要

针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难.本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分微小阙值δ的极值点判定方法.最后通过DSP开发平台实现上述算法.实验结果表明AKF输出监控信号噪声被明显抑制;最终本文方案判定极值点平均膜厚监控相对误差仅为1.07%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马孜		27	98	4.0	9.0
2	赵汝进	西南科技大学信息工程学院	10	40	4.0	6.0
3	姚远程		2	3	1.0	1.0
4	肖琦		7	52	3.0	7.0
5	姚德武		4	15	2.0	3.0
6	何长涛	四川大学电子信息学院	9	39	4.0	6.0
7	袁胜	四川大学电子信息学院	2	5	1.0	2.0