基于PLC的MOCVD控制系统设计

• 作者: 过润秋 陈贤能
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: PLC MOCVD 计算机控制系统
• 年，卷（期）: 2007,（13）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.13.012

摘要

针对MOCVD系统工艺的要求,设计了一种基于PLC的MOCVD计算机控制系统.本文从系统的组成、实现原理和软件设计等方面做了介绍.采用可编程控制器作为其核心控制系统,提高了系统的自动化程度,保证了系统运行的可靠性,灵活性.