三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析

• 作者: 徐夏 熊继军 翟成瑞 马游春
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: MEMS 三维 加速度计 测试
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微机电(MEMS)技术应用
• 页码范围: 208-210
• 页数: 3页
• 分类号: TP206+.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.05.086

摘要

文章针对一种三维MEMS加速度计,提出了三维加速度计的测试方法,并根据测试结果对此加速度计进行了性能分析.通过对其设计原理和内部结构的描述,指出该型MEMS加速度计的结构优点及性能特点.针对该加速度计,作者设计了测试装置,制作了测试电路,并在文章中详细描述了测试原理及整个测试过程.分别在三个方向上,对此三维MEMS加速度计进行了多次对比测试,同时采集包括标准加速度计输出和MEMS加速度计三向输出在内的四路信号,以便进行冲击方向上两加速度计的横向对比和三向MEMS加速度计的轴间耦合分析.测试结果表明,此测试方法和装置是可靠有效的,且具有一定的通用性可用于其它类似传感器的测试分析中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐夏	太原中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	6	1.0	1.0
2	马游春	太原中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	35	2.0	2.0
3	翟成瑞	太原中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	6	1.0	1.0
4	熊继军	太原中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	6	1.0	1.0