IC封装设备切片机电控系统设计

• 作者: 宋佳丽
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 运动控制 可编程序控制器 集成电路封装 切片机
• 年，卷（期）: 2007,（25）
• 所属期刊栏目: 控制系统
• 页码范围: 81-82,144
• 页数: 3页
• 分类号: TP273+.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.25.035

摘要

为了高速、高精度切割半导体晶片,切片机的电控系统要求具备高精度及高稳定度.根据系统设计指标和可编程控制器(PLC)的特点,选用日本OMRON公司的CS1G型PLC构成主控系统,FC10/400型高速电机及其配套变频器构成高速主轴系统,Y、Z轴则用PD-0535M型步进电机驱动器驱动步进电机构成开环控制系统，X轴采用交流伺服电机及增量式编码器构成半闭环系统,θ轴选用美国Parkef公司DM1004B型转台交流伺服电机及DrvMⅡ型电机驱动器,供电系统采用隔离变压器等方法来屏蔽电磁干扰.通过多模块运动控制软件协调控制,该系统完全达到了设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋佳丽	长春税务学院计算机系	5	10	2.0	2.0