基于单片机的石英晶片镀膜测控系统设计

• 作者: 刘桂礼 李东 王艳林 陈维
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 石英晶片 谐振频率 蒸发镀膜
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 单片机开发与应用
• 页码范围: 131-133
• 页数: 3页
• 分类号: TH752.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.11.051

摘要

本文阐述了石英晶片真空蒸发镀膜测控的基本原理和镀膜过程中石英晶片谐振频率变化与镀膜厚度之间的关系.主要研究了以W77E516单片机为核心,配合其它相关芯片完成石英晶片真空蒸发镀膜过程测控系统的工作原理和实现方案,重点阐述了该系统的硬件设计和软件设计方法.