一种实用纳米级位移测量校准器

• 作者: 刘晓军 宋浩 王益民
• 来源期刊: 科技与创新
• 关键词: 纳米位移 校准器 共光路干涉
• 年，卷（期）: 2007,（34）
• 所属期刊栏目: 软件天地
• 页码范围: 251-252,309
• 页数: 3页
• 分类号: Q958.9|S852.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0570.2007.34.102

摘要

提出基于新型共光路激光干涉原理的纳米级位移测量校准器,建立了其测量的数学模型,分析了其误差特性.由于采用相移干涉的相位分析技术实现波长小数测量,该测量校准器的精度好于0.5nm,量程达到几个mm;又由于共光路和紧凑的结构设计,因而具有良好的抗干扰特性,能够应用于一般实验环境.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军	华中科技大学机械科学与工程学院	60	357	11.0	15.0
2	王益民	华中科技大学机械科学与工程学院	3	3	1.0	1.0
3	宋浩	华中科技大学机械科学与工程学院	3	11	2.0	3.0