基于MEMS技术的电容式微型真空传感器

• 作者: 冯勇建 张丹 林雁飞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 传感器 自停止 阳极键合 三明治结构
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 104-108
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2473字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.02.010

摘要

介绍了一种以MEMS技术为基础的电容式硅微真空传感器.该传感器主要采用p+硅自停止腐蚀技术和阳极键合技术制作,形成了玻璃-硅-玻璃的三明治结构.传感器的传感元是经过浓硼扩散的硼硅膜,方形硼硅膜的应用使传感器具有更高的灵敏度;感应耦合等离子体刻蚀硼硅膜引出金属电极的方法使传感器的制作更为简单.该真空微传感器具有结构简单、灵敏度高等优点,其尺寸为5mm×6.4mm.该真空传感器的测量范围为5×10-3～6×10-2Pa,其线性度为5.9%,灵敏度比较稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学机电工程系	103	953	15.0	26.0
2	林雁飞	厦门大学机电工程系	6	52	4.0	6.0