用剥离技术和激光技术制作薄膜电阻

• 作者: 余飞 汪继芳
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 剥离技术 激光技术 溅射
• 年，卷（期）: jcdltx_2008,（1）
• 页数: 3页
• 分类号: TM544

摘要

研究了用一种新的方法制作定制薄膜电阻的可行性。结果表明,采用剥离技术和激光技术可以很好地实现某些定制薄膜电阻的制作,满足客户所要求的指标,其简化了光刻工艺,改进了薄膜电阻的制作方法,具有较大的实用价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪继芳		10	0	0.0	0.0
2	余飞		3	0	0.0	0.0