水平静电驱动式多晶3C-SiC折叠悬臂梁谐振器微结构

• 作者: 刘兴坊 孙国胜 宁瑾 曾一平 李晋闽 王亮 王雷 赵万顺 赵永梅
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 横向谐振器件 折叠悬臂梁 叉指结构 微机械系统 谐振器 碳化硅
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1453-1456
• 页数: 4页
• 分类号: TN303
• 字数: 660字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.08.006

摘要

介绍了一种微机械叉指静电驱动折叠悬臂梁谐振器的设计和制作方法.将Rayleigh分析法和有限元分析法结合起来分析调整器件尺寸和材料参数对器件性能的影响.制作了三种不同悬臂梁宽度的微机械横向谐振器件,经实验检测它们的谐振频率分别为64.5,147.2,255.5kHz,与模拟结果符合得很好.该结果显示由于具有很高的杨式模量,利用多晶3C-SiC材料体系制作的谐振器件能够具有更高的谐振频率.