基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量

• 作者: 傅云霞 傅星 李源 栗大超 胡小唐 邹子英
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微触觉测头 尺寸测量 纳米测量机
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 2097-2100
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 1861字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.12.029

摘要

针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统.在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.755 2 nm,6.05 μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李源		13	121	6.0	11.0
3	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
4	栗大超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	89	722	14.0	20.0
5	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
6	傅云霞		30	86	6.0	7.0
9	邹子英		12	55	5.0	7.0