液面位置对φ300mm硅单晶固液界面形状影响的数值计算

• 作者: 吴志强 周旗钢 张国虎 戴小林 王学锋 高宇
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直拉硅单晶 固液界面 液面位置 数值模拟
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 1571-1574
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 1741字
• 语种: 中文

摘要

数值模拟技术已经成为分析和优化工业化晶体生长工艺必不可少的工具.本文利用有限元分析软件计算了φ300 mm直拉硅单晶生长过程中,不同液面位置时的晶体固液界面形状,模拟计算考虑了热传导、辐射、气流等物理现象,分析了晶体长度和液面位置对晶体生长界面形状的影响,得出了随着晶体长度的增加固液界面的凸度会增大的规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周旗钢		12	121	7.0	11.0
2	戴小林		9	76	5.0	8.0
3	吴志强		3	18	3.0	3.0
4	王学锋		4	63	3.0	4.0
6	高宇		4	28	3.0	4.0
12	张国虎		1	10	1.0	1.0