一款微波双极晶体管的设计和实现

• 作者: 吴国增 米保良
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双极晶体管 特征频率 双层多晶硅 增益
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 780-783
• 页数: 4页
• 分类号: TN385
• 字数: 2516字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2008.09.012

摘要

对双极晶体管结构和关键性能参数进行了研究和设计,并进行了流片测试.介绍了器件工艺步骤及其采用的工艺结构.对器件的特征频率、Gummel曲线、发射极电子和空穴浓度、CE击穿特性模拟、β/Ic曲线等关键参数进行了模拟.模拟器件最高特征频率为10 GHz,流片测试最高特征频率为9.5 GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	米保良	聊城大学东昌学院	7	2	1.0	1.0
2	吴国增	聊城大学东昌学院	12	17	2.0	3.0