16×16光开关微镜阵列

• 作者: 吴文刚 王子千 郝一龙 闫桂珍 陈庆华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 微镜阵列 大角度 静电驱动 微电机系统PACC:4283 4225B 4230Q
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1496-1503
• 页数: 8页
• 分类号: TN25
• 字数: 561字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.08.016

摘要

设计、制造和测试了一种实现16×16 MEMS光开关的高反射率、大角度静电扭转制动型微镜阵列.该阵列的微镜可进行90扭转并保持稳定的扭转状态以对入射光进行导向.针对微镜的扭转驱动特性,提出了相应的机电模型.通过单片集成光纤槽,实现了光纤.微镜.光纤的无源对准.测试结果表明,微镜反射率为93.1%～96.3%,最低插入损耗为2.1dB,另外,在经过15min的5～90Hz,3mm振幅的振动测试后,光开关的插入损耗的改变值仅为±0.01dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝一龙	北京大学微电子学与固体电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室	46	716	15.0	25.0