基于MEMS技术的微型直接甲醇燃料电池的制作

• 作者: 刘晓为 索春光 陈伟平
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微型直接甲醇燃料电池 微电子机械系统 多孔硅 化学镀
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 118-120
• 页数: 3页
• 分类号: TM911.4
• 字数: 1238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.09.037

摘要

为了进一步简化微型直接甲醇燃料电池(μDMFC)系统,便于电池批量生产,采用MEMS技术制作μDMFC.电池的制作包括传统的MEMS工艺,如,氧化、光刻、湿法刻蚀、硅-玻璃键合等方法,还包括一种新的催化电极制备方法,即采用硅片阳极氧化的方法.首先,制得多孔硅(PS)作为催化电极的基底,然后,采用化学镀法分别在PS上沉积出Pt阴极催化电极和Pt-Ru阳极催化电极.PS具有巨大的比表面积,使化学镀的催化剂层拥有不连续的三维结构,能显著增加催化剂的活性面积,同时,化学镀液中贵金属的利用率高达95%,可以有效地节约贵金属用量.研究中采用扫描电镜(SEM),能量色散X射线分析(EDX)对催化剂层的形貌和成分等物理性能进行了分析.