利用差频电路实现微电容式传感器检测电路的温漂抑制

• 作者: 吉文婷 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 电子工程师
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS(微电子机械系统) 微电容式传感器 接口电路 差频电路 温漂特性
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 计算机与自动化技术
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.11
• 字数: 3056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-4888.2008.10.019

摘要

介绍了一种本实验室开发的CMOS工艺的电容式传感器的接口电路.重点分析了基于施密特触发器的张弛振荡器接口电路,实现了敏感电容以及参考电容与频率的转换.通过对两频率求差来抑制各种共模干扰.对样片进行了测试,输出频率与理论值基本一致.最后对该电路进行了温漂特性的仿真和测试,验证了差频电路可以将电源波动和温度的影响完全抑制在精度的允许范围内.