碳剥离膜结构的研究

• 作者: 卢子伟 张宏斌 徐瑚珊 李占奎 肖国青
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳剥离膜 SEM/TEM 交流 直流电弧法
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 689-691
• 页数: 3页
• 分类号: O571.1|TB43
• 字数: 1193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2008.09.011

摘要

碳剥离膜可用交流电弧法或直流电弧法来制备,也可用交直流电弧来做多层膜.不同制备方法的碳剥离膜有不同的寿命,表明不同制备方法的碳膜有着不同的微观结构.本文对不同制备方法的碳剥离膜的微观结构做了SEM/TEM照片测试,分析了碳剥离膜结构对碳剥离膜寿命的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐瑚珊	中国科学院近代物理研究所	31	106	5.0	9.0
2	肖国青	中国科学院近代物理研究所	63	356	10.0	16.0
3	李占奎	中国科学院近代物理研究所	25	28	3.0	4.0
4	卢子伟	中国科学院近代物理研究所	7	10	2.0	3.0
5	张宏斌	中国科学院近代物理研究所	7	10	2.0	3.0