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我国首台12英寸单晶炉研制成功
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摘要：
国家863计划项目“超大规模集成电路配套材料”重大专项中的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”项目,日前在北京通过科技部验收。这标志着拥有自主知识产权核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用单晶硅生产设备,在我国首次研制成功。单晶炉是直接法制备硅单晶的关键技术装备,所制备的硅单晶主要用于集成电路元件和太阳能电池。西安理工大学与北京有色金属研究院从2003年起承担“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”课题的研发任务,经过三年多的攻关,取得了一系列创新性成果和关键技术。所研制的样机均由课题组自主设计和加工,已成功拉制出12英寸无位错合格单晶。我国首台12英寸单晶炉研制成功$《集成电路通讯》编辑部
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文献信息
| 篇名 | 我国首台12英寸单晶炉研制成功 | ||
| 来源期刊 | 集成电路通讯 | 学科 | 经济 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | jcdltx_2008,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | ||
| 页数 | 1页 | 分类号 | F42 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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期刊影响力
集成电路通讯
主办单位：
中国兵器工业第214研究所
出版周期：
季刊
ISSN：
CN：
开本：
大16开
出版地：
安徽省蚌埠市06信箱
邮发代号：
创刊时间：
1983
语种：
chi
出版文献量（篇）
868
总下载数（次）
16
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