自激驱动方式的振动式微机械陀螺全差动接口电路

• 作者: 丁学伟 刘晓为 谭晓昀 马原芳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机械陀螺 自激驱动 全差动接口电路
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 705-708
• 页数: 4页
• 分类号: V241.5
• 字数: 900字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.044

摘要

以外框驱动内框检测(ISOD)的框架式振动陀螺为对象,采用CSMC 0.6μm标准CMOS工艺给出了驱动电路和检测电路的实现方式.仿真结果显示,同外加驱动方式相比,自激驱动方式能够让驱动电压工作于微机械陀螺的驱动谐振频率上,对温漂和时漂有很强的抑制作用,能够实现最大的检测分辨率,微机械陀螺性能显著提高.采用全差动工作方式相对于单端工作方式,可以有效的提高信噪比(SNR),并可以抑制共模噪声的干扰,并降低对高频载波的依赖度.在大气环境下,微机械陀螺的响应度为10 mV/deg,灵敏度为0.1°/S*Hz2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓为	哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系	42	140	7.0	10.0
2	谭晓昀	哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系	9	21	2.0	4.0
3	丁学伟	哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系	1	3	1.0	1.0
4	马原芳	哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系	1	3	1.0	1.0