用于传感的聚合物微谐振环的研制

• 作者: 孔光明 邓文渊 郭洪波 鄂书林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微谐振环 传感 聚合物材料 多模耦合器(MMI)
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TN2
• 字数: 3297字
• 语种: 中文

摘要

对一种用于传感的聚合物微谐振环进行了研制.器件为多模耦合器结构,作为微谐振环的输入/输出耦合结构.微谐振环采用跑道形结构.首先分析了器件的原理,给出了器件的优化设计参数.采用紫外光敏材料SU-8和CYTOP作为波导芯层和下包层材料,制作了上述结构的微谐振环器件,并进行了测试.扫描电镜的结果显示,所制备器件的整体形貌比较清晰,波导结构均匀光滑,侧壁陡直度较高.采用截断法测得单模直波导的传输损耗约为2.2 dBcm.对多模耦合器(MMI)结构和弯曲波导的测试表明,MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50:50的功分比,且损耗较低,而纯弯曲波导结构的通光性能良好.测量得到的器件谐振输出光谱表明,器件在主谐振峰处的插入损耗约为38dB,自由光谱区(FSR)约为1.87nm.过数据处理分析得到弯曲波导的传输损耗约为5.2 dB/cm.提出了进一步降低器件损耗、改善器件性能的措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓文渊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	20	187	7.0	13.0
2	鄂书林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	22	318	9.0	17.0
3	郭洪波	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
7	孔光明	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	2	6	2.0	2.0