棒状氧化镓的合成和发光性质研究

• 作者: 庄惠照 张士英 李保理 薛成山
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: β-Ga2O3 棒 磁控溅射 光致发光
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 681-683
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2008.04.044

摘要

利用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上先溅射Mo中间层,再溅射Ga2O3薄膜,然后在氨气中退火合成了大量的一维棒状β-Ga2O3.X射线衍射、选区电子衍射和能量弥散谱的分析结果表明,制备的样品为β-Ga2O3.利用扫描电子显微镜和高分辨透射电子显微镜观察发现,合成的棒具有直而光滑的表面,其直径在70～200nm左右.室温光致发光谱显示出两个较强的蓝光发射.另外,简单讨论棒状β-Ga2O3的生长机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛成山		5	21	2.0	4.0
2	庄惠照		2	8	1.0	2.0
3	张士英		1	7	1.0	1.0
4	李保理		1	7	1.0	1.0