全脉冲电路气体-金属离子注入源

• 作者: 李剑锋 李国卿
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 离子源 脉冲 气体-金属复合 离子注入
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 真空电源
• 页码范围: 106-108
• 页数: 3页
• 分类号: TL503.3
• 字数: 2392字
• 语种: 中文

摘要

本文报道了新型全脉冲电路气体一金属复合离子注入源的结构和特性,采用在磁场约束条件下的脉冲引发的气体等离子体,分别引发气体放电和金属弧放电.详细描述放电过程的伏一安特性曲线.以及对引出离子束流的作用.该设备电路体积小,整体高压脉冲电源体积仅为40立方分米,外引的操作线电压低于600 V,使用安全;具有单独气体离子注入,和金属离子注入的功能.适合于材料表面改性用途.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国卿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	58	411	12.0	16.0
2	李剑锋	大连交通大学材料科学与工程学院	13	42	4.0	5.0