纳米TiO2薄膜的制备与表面形貌研究

• 作者: 周明飞 孙兆奇 孟凡明 蔡琪
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2 薄膜 磁控溅射 退火 锐钛矿 金红石
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 72-77
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3480字
• 语种: 中文

摘要

研究退火温度对薄膜相结构、表面化学组成及形貌的影响.采用射频磁控溅射法在单晶硅片上淀积TIO2薄膜,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和X光电子能谱(XPS)对其进行表征.结果表明,室温制备400℃以下退火的TiO2薄膜为无定形结构,400℃以上退火的TiO2薄膜出现锐钛矿相,600℃以上退火的TiO2薄膜开始出现金红石相,退火温度在1000℃以上时样品已经完全转变为金红石相;随着退火温度的升高,晶粒尺寸和表面粗糙度逐渐增大,但是当退火温度为1000℃时反而有所减小,晶粒尺寸和表面粗糙度在退火温度为1000℃时发生的这一突变现象,是由该退火温度下的相变导致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡琪	安徽大学物理与材料科学学院	16	143	7.0	11.0
2	周明飞	安徽大学物理与材料科学学院	6	62	4.0	6.0