纳米晶氧化钛薄膜的制取及表征

• 作者: 廉冰娴 杨绿 许兵 邱望标
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 阳极氧化 晶化 表征
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.451
• 字数: 1820字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2008.09.004

摘要

在玻璃表面上通过磁控溅射金属钛薄膜,再运用阳极氧化使钛薄膜氧化生成纳米氧化钛,经过8 h,180℃的退火处理使其晶化.运用扫描电镜观察了晶化处理前后薄膜的表面形貌,用电子探针对薄膜进行了表征.通过X-射线衍射图谱表明,晶化处理后薄膜具有典型的晶体结构衍射峰尖锐特征,为锐钛矿纳米晶氧化钛薄膜;电子探针成分分析与X-射线衍射结果一致.最后讨论了其应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱望标	贵州大学机械工程学院	98	513	10.0	19.0
2	杨绿	贵州大学机械工程学院	42	206	9.0	12.0
3	廉冰娴	贵州大学机械工程学院	8	8	2.0	2.0
4	许兵	贵州大学机械工程学院	6	6	1.0	2.0