声表面波器件电子束淀积Al膜研究

• 作者: 孙娟 徐海林 蒋海涛 赵晓红
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 Al膜 电子束淀积 均匀性 准确性
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 366-369
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.8
• 字数: 2079字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.06.012

摘要

研究了声表面波器件研制过程中铝膜厚度准确控制技术及Al膜均匀性提高的技术.由理论分析推导出片架上的各点膜厚分布.根据片架各点的膜厚分布及蒸发空间场分布,设计所需的各项参数;计算出调整板的形状、调整板位置以及灯丝位置等参数对蒸发均匀性的影响.通过调整挡板位置和结构,调整灯丝位置及改进蒸发源参数,形成点蒸发源和微小面源模式,提高了Al膜厚度均匀性,工艺调整后的Al膜厚度偏差小于2%,提高了生产率.结果表明,批生产线的Al膜蒸发工艺成熟可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐海林		4	53	3.0	4.0
2	蒋海涛		2	1	1.0	1.0
3	孙娟		2	1	1.0	1.0
4	赵晓红		1	0	0.0	0.0