用于原子力与光子扫描隧道组合显微镜的浸油显微物镜

• 作者: 吴世法 孙敬霞 李银丽
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力与光子扫描隧道组合显微镜 显微镜 浸油 数值孔径
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 64-67
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 2471字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2008.06.018

摘要

双功能原子力与光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM)用7c对称双光束照明方法来消除假象.为改进现有的AF/PSTM系统,提出新的照明系统方案,并设计了新方案中需要的高数值孔径的浸油显微物镜.根据具体的物镜系统参数要求,选择合适的初始结构,用ZEMAX光学设计软件对物镜进行设计、优化和像质评价,设计结果显示浸油物镜的数值孔径大约1.54,可以很好地满足照明系统的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴世法	大连理工大学物理与光电工程学院近场光学与纳米技术研究所	41	336	10.0	17.0
2	李银丽	大连理工大学物理与光电工程学院近场光学与纳米技术研究所	2	28	2.0	2.0
3	孙敬霞	大连理工大学物理与光电工程学院近场光学与纳米技术研究所	1	2	1.0	1.0