阳极氧化铝膜孔径的测量

• 作者: 卢峻峰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米膜 阳极氧化铝膜 孔径测量 扫描电镜 图像处理 染色算法
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 720-723
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.21O1484.5
• 字数: 1693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.12.009

摘要

论述了一种对阳极氧化铝膜孔径进行测定和评估的方法.此方法通过对已得的阳极氧化铝薄膜提取样本制备扫描电镜(SEM)图像进行处理和分析,最终得到膜孔的尺寸结果.阳极氧化铝膜的膜孔尺寸处在nm级别,对其测量误差的要求很高.而限于SEM的设备特性和精度,通过SEM读取的原始阳极氧化铝膜的图像存在着大量噪声(以椒盐噪声为主).鉴于此,首先对阳极氧化铝膜的原始SEM图像进行多重滤波处理(中值滤波、各向异性扩散滤波以及阚值滤波),得到具有膜孔结构信息的阈值图像.经过多重滤波的这一阈值图像仍存在着很多污点,这些污点对阳极氧化铝膜膜孔尺寸的评估无任何意义,于是继续将阈值图像进行去污处理,最后通过设计的"染色"算法,实现了对膜孔尺寸的实际测量.实验证明,此方法的适用性较强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢峻峰	中国科学院理化技术研究所	1	0	0.0	0.0