全氯取代酞菁锌的合成及其Cl2气敏性研究

• 作者: 施云波 李赞 王立权 赵文杰 雷廷平
• 来源期刊: 陶瓷学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 全氯取代酞菁锌 表征 气敏性
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 250-253
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 935字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2278.2008.03.014

摘要

本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料,采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌,并通过红外、紫外光谱对其进行了表征.在SiO2基片上,利用MEMS微加工技术制造了敏感电极,采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜.气敏测试结果表明:该传感器对氯气有较理想的灵敏特性.