低温等离子体技术在材料表面改性中的应用

• 作者: 刘明石 唐恩凌 张静
• 来源期刊: 电工材料
• 关键词: 等离子体技术 表面改性 应用 材料
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 综述·动态
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TM205
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-8887.2008.03.009

摘要

概述了离子注入、离子刻蚀、离子束沉积等离子体表面处理技术的基本原理和最新进展,重点介绍了低温等离子体表面改性技术在电工和微电子设备中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张静		156	1415	20.0	34.0
2	刘明石		3	35	1.0	3.0