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高真空直排大气干泵的最新进展
高真空直排大气干泵的最新进展
作者:
刘坤
巴德纯
常学森
李涛
杨乃恒
陈瑶
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
干式真空泵
高真空
直排大气
研究进展
摘要:
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵.近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中.本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考.
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文献信息
篇名
高真空直排大气干泵的最新进展
来源期刊
真空科学与技术学报
学科
工学
关键词
干式真空泵
高真空
直排大气
研究进展
年,卷(期)
2008,(1)
所属期刊栏目
综述评论
研究方向
页码范围
21-25
页数
5页
分类号
TB752
字数
2489字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
巴德纯
东北大学真空与流体工程研究中心
250
1491
18.0
22.0
2
杨乃恒
东北大学真空与流体工程研究中心
40
356
12.0
17.0
3
刘坤
东北大学真空与流体工程研究中心
55
274
11.0
15.0
4
陈瑶
东北大学真空与流体工程研究中心
6
117
5.0
6.0
5
李涛
东北大学真空与流体工程研究中心
10
89
5.0
9.0
6
常学森
东北大学真空与流体工程研究中心
8
90
5.0
8.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(9)
共引文献
(11)
参考文献
(3)
节点文献
引证文献
(27)
同被引文献
(47)
二级引证文献
(44)
1976(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1997(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
1998(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2000(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2001(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2002(2)
参考文献(0)
二级参考文献(2)
2005(3)
参考文献(1)
二级参考文献(2)
2007(2)
参考文献(2)
二级参考文献(0)
2008(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2009(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2010(3)
引证文献(2)
二级引证文献(1)
2011(6)
引证文献(4)
二级引证文献(2)
2012(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
2013(10)
引证文献(4)
二级引证文献(6)
2014(7)
引证文献(3)
二级引证文献(4)
2015(10)
引证文献(3)
二级引证文献(7)
2016(13)
引证文献(4)
二级引证文献(9)
2017(9)
引证文献(2)
二级引证文献(7)
2018(3)
引证文献(3)
二级引证文献(0)
2019(5)
引证文献(1)
二级引证文献(4)
2020(2)
引证文献(0)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
干式真空泵
高真空
直排大气
研究进展
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
主办单位:
中国真空学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
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