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摘要:
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵.近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中.本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考.
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文献信息
篇名 高真空直排大气干泵的最新进展
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 工学
关键词 干式真空泵 高真空 直排大气 研究进展
年,卷(期) 2008,(1) 所属期刊栏目 综述评论
研究方向 页码范围 21-25
页数 5页 分类号 TB752
字数 2489字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 巴德纯 东北大学真空与流体工程研究中心 250 1491 18.0 22.0
2 杨乃恒 东北大学真空与流体工程研究中心 40 356 12.0 17.0
3 刘坤 东北大学真空与流体工程研究中心 55 274 11.0 15.0
4 陈瑶 东北大学真空与流体工程研究中心 6 117 5.0 6.0
5 李涛 东北大学真空与流体工程研究中心 10 89 5.0 9.0
6 常学森 东北大学真空与流体工程研究中心 8 90 5.0 8.0
传播情况
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干式真空泵
高真空
直排大气
研究进展
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真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
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