脉冲激光沉积ZnO薄膜的制备及其性能研究

• 作者: 曹钦存 赵跃智 陈长乐
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: PLD ZnO薄膜 Zn1-xMnxO薄膜 光吸收谱
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 65-67
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 2063字
• 语种: 中文

摘要

本文用脉冲激光沉积(PLD)法在SiO2基片上制备了ZnO薄膜和Zn1-xMnxO薄膜.X射线衍射、原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计对ZnO薄膜的测试结果表明:薄膜具有(103)面的择优取向,表面比较平坦;SiO2基片上制备的薄膜在387 nm附近存在明显的吸收边,且薄膜的吸收对基片温度变化不明显.通过对Zn1-xMnxO薄膜的吸收光谱分析得出:Mn离子的掺杂改变了ZnO薄膜的禁带宽度,随着Mn离子掺杂量的增加,薄膜禁带宽度增加;薄膜的光吸收也从直接跃迁过渡为间接跃迁.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长乐	西北工业大学应用物理系	144	734	13.0	20.0
2	赵跃智	洛阳理工学院材料系	16	174	5.0	13.0
3	曹钦存	洛阳理工学院材料系	10	35	4.0	5.0