SU-8胶微结构的显影技术研究

• 作者: 郑晓虎
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: SU-8胶 紫外LIGA 显影 微结构 图形特征
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 170-173
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7|TH703
• 字数: 2463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.03.010

摘要

突破了传统深宽比概念,提出金属基底上基于图形特征的光刻胶显影技术,对采用SU-8胶加工高分辨率和高深宽比微结构的显影工艺进行了讨论,分析了120～340 μm厚具有不同图形特征的SU-8胶显影规律,认为在同样条件下,凸型图形显影效果优于凹型非连通性图形;曲线型显影效果优于直线型图形与点状图形;圆弧连接的图形显影效果优于尖角型图形.显影时辅助适当功率的超声搅拌显著改善图形质量,凸型结构最佳超声功率小于10W;凹型结构超声功率为15W左右;深宽比为5～7的凸型胶膜结构适宜显影时间为10min以内,凹型结构显影时间达25min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑晓虎	淮阴工学院机械工程系	11	102	6.0	10.0