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传感器
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台阶
光刻胶厚度
CD差异
抗反射层
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 薄膜光刻工艺参数的优化
来源期刊 混合微电子技术 学科 工学
关键词 光刻工艺 甩胶 曝光 线宽 薄膜
年,卷(期) 2008,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 27-31
页数 5页 分类号 TN305.7
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 赵兹君 3 0 0.0 0.0
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2008(0)
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研究主题发展历程
节点文献
光刻工艺
甩胶
曝光
线宽
薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
混合微电子技术
季刊
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
出版文献量(篇)
1458
总下载数(次)
46
总被引数(次)
0
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