自然掺杂p型ZnO薄膜的螺旋波等离子体辅助溅射沉积

• 作者: 于威 傅广生 张丽 张锦川 杨丽华 许贺菊
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: p-ZnO 螺旋波等离子体 自然掺杂 应力
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 151-155
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2551字
• 语种: 中文

摘要

本工作通过调整工作气压,采用螺旋波等离子体辅助射频磁控溅射技术在Al2O3衬底上成功的制备了自然掺杂的p型ZnO薄膜.Hall测量显示在Ar/O2等离子体辅助下,随气压增加所沉积薄膜表现出从n型到p型再到n型的转变.p型ZnO薄膜载流子浓度为1.30×1016cm-3,电阻率为99.68Ω·cm,霍尔迁移率为4cm2·V-1·s-1.X射线衍射和原子力显微镜的分析结果显示ZnO薄膜的导电类型和薄膜的生长特征相关,等离子体中活性粒子载能的减小导致薄膜表面成核几率增加和ZnO晶粒逐渐减小.较高氧活性粒子浓度有利于自然掺杂p型ZnO薄膜生长,而活性氧粒子种类的变化使薄膜生长质量变差,施主缺陷增加,薄膜转化为n型导电.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	于威	河北大学物理科学与技术学院	91	346	9.0	13.0
3	张丽	河北大学物理科学与技术学院	48	166	7.0	11.0
4	杨丽华	河北大学物理科学与技术学院	6	18	2.0	4.0
5	许贺菊	河北大学物理科学与技术学院	7	31	3.0	5.0
6	张锦川	河北大学物理科学与技术学院	5	11	2.0	3.0