微机械热电堆红外探测器的设计

• 作者: 周汉昌 张萍 郝晓剑
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 热电堆 红外 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 分类号: TN215
• 字数: 2684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.05.025

摘要

阐述了微机械热电堆的设计原理、所用材料及主要结构,并研究了3×3阵列的微机械制造工艺,该热电堆结构支撑结构为氮化硅-氧化硅-氮化硅的复合介质膜.热电偶材料采用多晶硅和铝,热电偶采用并列排布的结构,对冷端覆盖了绝热层,用以提高热电堆的探测率.由于该制作工艺与标准IC工艺兼容,使得硅基热电堆红外探测器得到了越来越广泛的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝晓剑	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	110	443	11.0	14.0
2	周汉昌	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	100	634	13.0	19.0
3	张萍	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	12	2.0	3.0