交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性

• 作者: 卢春山 孙刚 孙恺 辛煜
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 感应耦合等离子体 天线 朗谬尔探针 发射光谱
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 174-178
• 页数: 5页
• 分类号: O539
• 字数: 2955字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了一种交叉型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中.本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Af谱线[4s'(1/2)0-4p'(1/2)]的发光强度的表征,并使用自制的Rogowski线圈测量了天线中的射频电流变化.结果表明,等离子体放电随着射频输入功率的增加存在着E模式向H模式的转变,H模式放电时发光强度及射频电流明显增大.电子温度随气压的增大而降低,几乎不受功率的影响.该等离子体源所产生的等离子体密度较高,等离子体均匀性在中心±60mm区域内优于90%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	辛煜	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	38	176	8.0	10.0
2	孙恺	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	4	15	3.0	3.0
3	孙刚	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	3	21	1.0	3.0
4	卢春山	苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室	2	1	1.0	1.0