阳极铝箔隧道孔的二次生长规律

• 作者: 严季新 付俊 王建中 肖仁贵 闫康平
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 铝箔 侵蚀 形貌 隧道孔 电容器
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TM535
• 字数: 2607字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2008.05.017

摘要

将在酸性介质中产生了隧道孔的铝箔置于中性侵蚀液中继续成长.发现中性侵蚀液的组分对铝箔隧道孔形貌的影响规律:当溶液仅含Cl-时,会有新的隧道孔产生,铝箔表面隧道孔分布密度从3.63×107 cm-2增加为3.72×107 cm-2,隧道孔平均孔径从0.40 μm扩展到0.75 μm,但隧道孔长度没有明显变化;在含Cl-电解质中添加少量有机添加剂时,铝箔表面没有新的隧道孔产生,由于出现并孔现象,隧道孔分布密度反而从3.63×107 cm-2降低至3.43×107 cm-2,但隧道孔的孔径从0.40 μm扩展到0.80 μm,长度从24 μm增加到37 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付俊	四川大学化工学院	4	17	3.0	4.0
2	闫康平	四川大学化工学院	95	356	10.0	15.0
3	肖仁贵	四川大学化工学院	31	113	6.0	8.0