一种快速响应的电容式湿度传感器感湿薄膜设计

• 作者: 苏凤 陈向东
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 物理学
• 关键词: 长方体 圆柱体 圆环体 占空因子 归一化
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 82-84
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1295字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.01.027

摘要

传统的电容式湿度传感器采用感湿膜都是水蒸汽通过上表面扩散的长方体感湿膜,因上表面面积有限,且有一部分被上电极覆盖,影响了系统的响应时间.采用了水蒸汽从周围扩散的圆柱体、圆环体结构,将其与传统的长方体做了比较,并在分析圆环体时引入的占空因子k,最后,将电容归一化得出圆柱体的响应时间约为长方体的10倍,圆环体与圆柱体相比,响应时间可减少约77.2%,大大缩短了响应时间,且圆柱体与圆环体对与薄膜厚度没有特别要求,因而还可以减小器件体积.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈向东	西南交通大学信息科学与技术学院	159	826	13.0	17.0
2	苏凤	西南交通大学信息科学与技术学院	4	24	4.0	4.0